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两轴气浮平台
XY两轴气浮平台是一种基于空气轴承技术的高精度运动平台,能够在X轴和Y轴两个方向上实现无摩擦、高精度的运动。它通过压缩空气在平台与底座之间形成气膜,从而实现高精度、高稳定性的平面运动控制。
可实现纳米级或亚微米级的运动精度。
支持X轴和Y轴的独立或复合运动,适合平面内的精密定位。