气浮平台
产品概述：
高精度气浮平台是一种利用空气轴承技术实现无摩擦、高精度运动的设备。它通过压缩空气在平台与底座之间形成一层极薄的气膜，使平台能够以极低的摩擦力和高稳定性进行移动。这种平台广泛应用于精密制造、光学检测、半导体加工、纳米技术等领域，诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。
特点：
直线度、重复性和定位精度极高。
速度快、同步性高。
高度定制化（不同的承载、不同的行程、不同的精度要求、不同的电气控制和不同的使用环境)
典型应用场景:
1).光刻机：用于半导体制造中的高精度对准和曝光。
2).光学检测设备：用于镜头、棱镜等光学元件的精密检测。
3).纳米压印设备：用于纳米级图案的复制和加工。
4).精密测量仪器：如三坐标测量机、激光干涉仪等。
3D自动量测机
产品概述：
对产品进行三维形貌测量，集合了相位差干涉，白光干涉，共聚焦，多焦面叠加的四合一的技术，可以做面型测量，共面度检测，研磨后的粗糙度检测，颗粒度检测，结构测量，孔深孔径，真圆度，膜厚测量，RDL线路量测，镭切槽检测，线宽，线距，去干膜前铜厚，SOLDER MASK开口尺寸，铜面粗糙度等众多三维量测项目。
3D自动量测机主要是对晶圆、PCB板等产品进行的三维形貌测量。设备可高精度、快速、自动化进行PCB产品表面3D形貌测量。
性能指标：
1).高精度（0.1nm高度分辨率）
2).超快速（2S/FOV）
3).多功能（共聚焦/干涉/多焦面）
4).多点编程量测
5).自动化（自动扫描、自动数据统计、自动数据上传）
6).条码读取调用模板
7).CCD影像定位（涨缩、摆放偏移校正）
8).SECS/GEM
3D轮廓仪
三维光学轮廓仪可以精确、定量、符合 ISO 标准、非接触式地测量表面并表征微米和纳米级的表面特征，仅在几秒钟内就可以捕获多达 200 万个数据点。应用范围包括对从超光滑的亚埃光学表面到极度粗糙和漫反射的 3D 打印表面等样品进行形貌、波纹、粗糙度和微观结构表征。
选择哪种光学轮廓仪系统取决于您的应用需求，如速度、精度、垂直范围、自动化和灵活性等。
